エレクトロニクスの多様化を支える新デバイス技術: 2020年を見据えて

摘要

電子情報通信技術の発展の一翼を担ってきた半導体デ バイス技術は，ムーアの法則に象徴されるように，微細 化をその大きな核として進展してきたのは，広く知られ ているところである．現在も，幾多の技術的困難が存在 しながら半導体デバイスの微細（MoreMoore）が進展 しているが，現時点での予想では，2020年には技術世 代22nmまで到達し，以後の微細化は，技術的に著し く困難であるか，ビジネスモデルが成り立たない見通し である．すなわち，技術世代22／20nm以降，産業とし ての課題が顕在化し，半導体デバイスの技術と市場にお いてパラダイムシフトが必要とされている．