インタコネクション技術

摘要

1970年代以来，集積回路技術は微細化による性能向上をけん引力として進歩してきた.しかしながらここに来てこの発展の方向は，大きな変換点に差しかかろうとしている.これまで順調にペースを維持してきた微細化による性能向上は，発熱の問題，漏れ電流の増加，特性ばらつきの増加，そしてコストの増大などの本質的な問題により困難さが増してきた.もちろん，これまでのように新たな技術革新により，これらの困難は克服されるであろう.