机译:共振光谱法表征复合谐振器中的压电薄膜
crystal resonators; elastic constants; losses; piezoelectric thin films; zinc compounds; ZnO; composite resonators; elastic constant; electromechanical coupling factor; four-layer thickness extension mode; fused quartz substrates; mechanical loss; numerical simulati;
机译:共振光谱法表征复合谐振器中的压电薄膜
机译:表征Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3基高泛音体声波谐振器的谐振谱方法
机译:使用复合谐振器表征压电薄膜的机电耦合系数
机译:用于表征压电薄膜的共振光谱法
机译:基于外延砷化铝镓薄膜的压电MEMS磁盘谐振器和滤波器。
机译:Q-系数提高薄膜压电对硅MEMS谐振器通过呼吸晶体反射器复合结构
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机译:溅射C轴倾斜压电薄膜和剪切波谐振器