...
机译:与基板隔离的微机械声波谐振器
acoustic resonators; aluminium; bulk acoustic wave devices; electromechanical effects; micromachining; silicon compounds; thin film devices; 0.5 mum; 0.9 mum; 2.7 GHz; 5.1 GHz; Al-ZnO-SiN; composite layers; electromechanical coupling constant; energy leakage; film bulk;
机译:AlN板上的超低声损耗微加工蝴蝶兰姆波谐振器
机译:微加工石英石英块体声波谐振器在红外传感中的应用
机译:微机械薄膜板声波谐振器(FPAR):第二部分
机译:从基质中声隔离的氮化铝薄膜薄膜微波大体积声波谐振器的实验研究
机译:通过对基板和系链进行修改,微机械加工的薄膜硅上压电薄膜横向延伸谐振器的性能得到提高。
机译:通过表面声波的耦合调制来控制微谐振器中的光的过程
机译:3D微波谐振器对散装声波晶体谐振器的压电 - 光机耦合