机译:高压电共掺杂AlN薄膜,用于宽带FBAR应用
Taiyo Yuden Co. Ltd., Japan;
机译:在FBAR器件的金籽晶层上沉积高度c轴取向的AlN薄膜
机译:FBARS压电ALN薄膜的制造
机译:FBAR应用在Mo电极上的压电AIN薄膜的两步反应溅射
机译:用于宽带FBAR应用的高压电共掺杂AlN薄膜
机译:N合金化的AlN薄膜:结构,压电和磁性。
机译:具有SU-8 / PDMS支持层的集成压电AlN薄膜用于柔性传感器阵列
机译:mEms应用中alN薄膜的压电特性研究
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)