机译:具有反向偏置功能的空气耦合多动膜微加工超声换能器
Department of Electrical and Computer Engineering, University of Manitoba, Winnipeg, MB, Canada;
Deflectable plate; inverse biasing; microelectromechanical system (MEMS); multiple-moving membrane-capacitive micromachined ultrasonic transducer ( $text{M}^{3}$ -CMUT); nondestructive testing;
机译:使用优化的中间板配置增强了空气耦合多动膜电容式微加工超声换能器的性能
机译:空气参数阵列六角空气耦合电容微机械超声波换能器的设计
机译:基于36%ScAlN薄膜的高SPL空气耦合压电微加工超声换能器
机译:开发6 x 6元件的空气耦合多移动膜电容微机械微机械超声换能器阵列,M〜3-cmut,用于高分辨率检测应用
机译:空气耦合氮化铝压电微机械超声换能器。
机译:塌陷电容微机械超声换能器分析模型综述塌陷电压及静态膜偏转
机译:开发用于高分辨率检测应用的6×6元素空气耦合多动膜电容微加工超声换能器阵列M3-CMUT