机译:蚀刻孔对硅Lamé谐振器的温度补偿:理论与设计方法
Dipartimento di Ingegneria dell’Informazione, Università di Pisa, Pisa, Italy;
Dipartimento di Ingegneria dell’Informazione, Università di Pisa, Pisa, Italy;
Dipartimento di Ingegneria dell’Informazione, Università di Pisa, Pisa, Italy;
Doping; Temperature sensors; Silicon; Resonant frequency; Micromechanical devices; Semiconductor process modeling; Frequency control;
机译:横向呼吸模式硅微机械谐振器中分布的蚀刻孔的耗散增加
机译:横向呼吸模式硅微机械谐振器中分布的蚀刻孔的耗散增加
机译:连接到KOH蚀刻的(100)硅中方孔的V型槽的补偿结构:理论,仿真和实验
机译:Lamé-模式硅谐振器的原位烘箱化,用于温度补偿
机译:硅微机械谐振器和谐振器阵列的补偿和微调,用于定时和频谱处理。
机译:数据集用于比较真空处理和蚀刻后的多孔硅样品在低温下的氧化演化
机译:硅微管谐振器:PWM驱动的热可调硅微管谐振器:设计,制造和表征(激光光子版Rev.13(9)/ 2019)
机译:利用最低阶对称模式对氮化铝Lamb波谐振器进行温度补偿。