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双端调谐音叉石英谐振器的结构设计方法研究

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摘要

叙述了双端调谐音叉石英振梁式重力传感器的结构和工作原理.根据石英谐振器的谐振频率公式和石英晶体的压电效应原理,确定了石英谐振器的主要结构尺寸和电极设置.应用有限元法计算了该谐振器的谐振频率,显示了一阶模态振型,这为设计不同用途的石英振梁式加速度传感器提供了理论依据.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2003年第10期|3-4,28|共3页
作者
刘海静; 周百令;
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作者单位

东南大学仪器科学与工程系,江苏,南京,210096;

东南大学仪器科学与工程系,江苏,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
石英谐振器; 重力传感器; 有限元方法;

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