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机译:使用深紫外激光散射检测块状硅和SOI晶片上的30–40 nm粒子
argon; elemental semiconductors; gas lasers; impurity states; laser beam applications; nanotechnology; semiconductor lasers; silicon compounds; silicon-on-insulator; surface cleaning; surface contamination; 266 nm; 30 to 40 nm; 488 nm; 50 to 60 nm; Ar+; HF; IT;
机译:使用深紫外激光散射检测块状硅和SOI晶片上的30–40 nm粒子
机译:细颗粒检测对块状硅和SOI晶圆的挑战
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机译:激光散射法测量Si晶片表面上的纳米细颗粒。
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