机译:针对一般ARIMA流程的改进型可变EWMA控制器
Center for Control Theory and Guidance Technology, Harbin Institute of Technology, Harbin, China;
Control systems; Fabrication; Mean square error methods; Process control; Sensitivity; Stability analysis; EWMA; Run-to-run (RtR) control; Run-to-run control; exponentially weighted moving average (EWMA); semiconductor manufacturing; variable discount factor;
机译:自适应可变EWMA控制器,用于漂移过程
机译:设计一个用于线性扰动和阶跃变化的过程扰动的可变EWMA控制器
机译:可变EWMA控制器的研究
机译:可变EWMA控制器,用于高混合半导体制造工艺
机译:具有计量延迟的EWMA和双EWMA连续运行控制器的稳定性和性能
机译:使用基于电力系统变量的电压稳定性指标来优化统一潮流控制器的位置以提高动态电压稳定性
机译:使用基于电力系统变量的电压稳定性指标来优化布置统一的潮流控制器,以提高动态电压稳定性