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机译:具有非对称侧壁的覆盖靶基于衍射的覆盖模型的增强
Natl Taiwan Univ Sci & Technol Grad Inst Automat & Control Taipei 106 Taiwan;
Natl Taiwan Univ Sci & Technol Grad Inst Automat & Control Taipei 106 Taiwan;
Shuztung Machinery Ind Co Ltd Taichung 421 Taiwan;
Natl Taiwan Univ Sci & Technol Grad Inst Automat & Control Taipei 106 Taiwan;
Diffraction-based overlay (DBO); supervised learning; feedforward neural network; optical scatterometry; rigorous coupled wave analysis (RCWA);
机译:基于衍射的覆盖计量中的目标设计多目标优化
机译:基于暗场衍射的覆盖物中剂量非均匀性校准的靶标和方法设计
机译:时延容忍网络中不同运动模型下Creido增强和弦覆盖协议的分析
机译:使用3D光栅以较小的目标进行基于衍射的更快的叠加测量
机译:通过覆盖层增强衰减全反射红外光谱法检测水性介质中的生物分子及其二级结构。
机译:P型Cu中的电荷输送增强的最佳N型Al掺杂ZnO叠层
机译:用于scratchpad增强型嵌入式处理器的性能模型和代码覆盖生成器
机译:混凝土覆盖层的材料选择:德克萨斯州现有混凝土覆盖层的信息调查回顾与评估