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机译:干刻蚀室沉积物堆积评估的新方法
Univ Cincinnati NSF I UCRC Ctr Intelligent Maintenance Syst Cincinnati OH 45220 USA;
Hitachi High Technol Corp Elect Device Syst Business Grp Kudamatsu 7440002 Japan;
Deposit accumulation; particle contamination; dry etching; virtual metrology (VM); piecewise linear approximation (PLA);
机译:根据《全球燃油宪章》 M 111测试和BZ-154-01中指定的方法评估汽油对燃烧室沉积物形成倾向的问题
机译:具有高蚀刻速率的新型干蚀刻方法,用于对交联的SU-8厚膜进行构图
机译:坎帕尼亚火山岩喷发的化学地层学研究(意大利Campi Flegrei):岩浆腔抽出和沉积物堆积的见解,如按区域划分的地层和相框架所揭示
机译:配方混合法下感应耦合等离子体刻蚀室的污染评估
机译:数值,实验和生命周期评估方法在利用二氧化碳包合物封存技术研究甲烷水合物矿床天然气生产中的应用。
机译:干/湿蚀刻法制备的微纳米杂化结构的减反射研究
机译:喷雾干燥过程中干燥室壁沉积系统的研究。各种矿床防治系统在坎普药生产中的影响。
机译:用于手工开采的冲积金刚石矿床现场评估的方法工具包:技术和方法11-D2,D节第2章,实地调查方法,第11册,空间数据的收集和划分。