机译:双梳指设计消除了双轴加速度计中的跨轴灵敏度
Department of Electrical Engineering, and Computer Science, Masdar Institute, Khalifa University of Science and Technology, Abu Dhabi, UAE;
Department of Electrical Engineering, and Computer Science, Masdar Institute, Khalifa University of Science and Technology, Abu Dhabi, UAE;
Department of Electrical Engineering, and Computer Science, Masdar Institute, Khalifa University of Science and Technology, Abu Dhabi, UAE;
Accelerometers; Sensors; Sensitivity; Electrodes; Capacitance; Acceleration; Fingers;
机译:具有掩膜式无掩膜蚀刻的低交叉轴灵敏度的双轴大体积微机械谐振加速度计
机译:考虑灵敏度,谐振频率和跨轴灵敏度的压阻式加速度计几何形状的分析和设计
机译:微加工高灵敏度和0%横轴灵敏度电容式加速度计的设计,制造和分析
机译:商用过程中具有零交叉轴灵敏度的三轴电容式低重力MEMS加速度计的设计
机译:具有CMOS精密接口电路的高灵敏度单轴和双轴高纵横比加速度计。
机译:采用高灵敏度DCB弹性元件设计的小范围六轴加速度计
机译:MEMS悬臂梁压电加速度计和SHM(结构健康监测)应用的高灵敏度设计简单分析模型
机译:在计算设计中使用伴随方法消除网格灵敏度。