机译:百万美元Q $基于反射的集成谐振器,采用深紫外光刻技术进行图案化
Q-factor; etching; integrated optics; optical resonators; reflectivity; ultraviolet lithography; Bragg reflectors; channel waveguides; deep ultraviolet photolithography; reflection-based integrated resonators; reflectivity; silica-on-silicon slab; Etched Bragg grati;
机译:通过深紫外光刻技术对共面聚乙二醇烷基硅烷单层进行直接图案化,作为高保真,长期细胞图案化和培养的通用方法
机译:紫外光刻图形化的氧化石墨薄膜的电容-电压和电流-电压特性
机译:深紫外适形接触光刻的曝光范围
机译:深度紫外激光计量对光刻的新发展
机译:使用光刻技术在氮化钛中制造微波谐振器
机译:通过深紫外光刻技术对共面聚乙二醇烷基硅烷单层进行直接图案化作为高保真长期细胞图案化和培养的通用方法
机译:深度紫外线激光计量半导体光刻