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机译:基于垂直梳状驱动的二维万向节微镜,通过背面岛隔离实现较大的静态旋转
microactuators; micromirrors; optical deflectors; silicon-on-insulator; sputter etching; SOI structures; Si; actuation potentials; backside island isolation; etched backside handle wafer structures; fabrication process; gimbaled micromirrors; large static rotation; m;
机译:由自对准垂直静电梳状驱动器驱动的高填充因子两轴常平架倾斜活塞微镜阵列
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:具有角垂直梳状驱动器的MEMS微镜角立方反射镜的动态响应建模
机译:微镜与交错垂直组合的动态分析
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:基于横向性感知多思科头旋转信号的差异权重
机译:基于垂直Combdrive的二维万向镜微镜,背面岛隔离大静态旋转
机译:基于实验的气垫着陆系统垂直方向静力性能预测。