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机译:无云台的单片硅执行器,用于倾斜式活塞微镜应用
elemental semiconductors; high-speed optical techniques; integrated optoelectronics; microactuators; micromachining; micromirrors; motion control; optical arrays; optical deflectors; optical scanners; rotation; silicon; silicon-on-insulator; Si; bidirectional rotators;
机译:基于无侧移和无侧移压电单压电晶片致动器的尖端倾斜活塞微镜的磁滞特性
机译:带有无侧移对称压电致动器的倾斜活塞微镜
机译:带有双S形单压电晶片压电致动器的尖端倾斜活塞微镜
机译:带有折叠式PZT单压电晶片执行器的尖端倾斜活塞压电扫描微镜
机译:用于医学成像应用的电热致动双轴扫描微镜。
机译:用于单片三维集成电路应用的低成本和低温多晶硅纳米线传感器阵列的制造
机译:用于尖端 - 活塞微镜应用的无万向节单片硅致动器
机译:波导结构与表面微机械多晶硅执行器的单片集成