制造单片多层执行器的方法 ,由压电陶瓷或电致伸缩材料制成的单片多层执行器 ,以及用于单片多层执行器的外部电触点

摘要

本发明涉及一种制造单片多层执行器的方法，相应的单片多层执行器，及用于单片多层执行器的外部电触点。根据本发明，沿着执行器的层叠结构的纵轴，基本上平行于内部电极且与内部电极相隔一段距离，在至少两个相对设置的外表面的区域内，在执行器结构中有目的地加入轻微干扰，已知的内部电极伸向所述外表面区域。最早在执行器的极化时，所述轻微干扰在内部和/或向着外部电极形成了一个预先给定的、受限的缓解应力的开裂增长，其中至少在执行器结构中的轻微干扰的区域内抗拉伸或有弹性地形成基础金属化层和/或外部触点。