ニコン、熊谷事業所で液浸露光装置を増産～来年度に年産40台

摘要

ニコンは、2008年度をめどに熊谷事業所（埼玉県熊谷市）で液浸露光装置を増産する。 NAND型フラッシュメモリ（電気的に一括消去・再書き込みが可能）市場が活況となってい るため、製造装置である液浸露光装置の年産能力を2007年度比10台増の40台に引き上げる。 液浸露光装置はレンズとウエハの間に純水を挟み込み、レンズからの光を純水により高 屈折させウエハ上に微細加工する。45nm（ナノメートル、10億分の1メートル）以下の回路 幅を形成できる。東芝やサムスンなどNAND型フラッシュメモリメーカーに製造装置と して供給している。NAND型フラッシュメモ）市場の活況に伴い、同装置の需要も伸長。 2010年度には年100台まで需要が拡大する見通しのため、ニコンは液浸露光装置の増産を 決めた。