PVD/PACVD-Nanokompositschichten-gezielt eingestellte Eigenschaften

摘要

Kompositschichten gehoren in der Galvanotechnik seit langem zum bekannten Standard. Ihre Vorteile werden besonders auf Basis der Nickelmatrixschichten durch Einlagerung von Dispersoiden wie Phosphor, Bor, Teflon, Diamant oder Silizium genutzt. Im Wesentlichen verbinden sich mit der Einlagerung der Partikel Verbesserungen der Gleit-und Reibeigenschaften. Ahnliches erreicht man auch durch die Einlagerung von Nanokompositen wahrden der PVD-bzw. CVD-Abscheidung. Hier kommen Partikel in Form von Metallkarbide in Kohlenstoffmatrix. Chromcarbide/-nitride in Chrommatrix. Chrom-/Niobnitrid, Aluminium-/Titannitrid oder Titan-/Hafni-umcarbide als Zwei-Phasenschicht in Betracht. Die Schichten werden zur Verbesserung der Reibung oder Temperaturbestandigkeit fur Werkzeuge oder hochbelastete Ventile in Motoren eingesetzt.%Electrodeposited composite coatings have long been accepted as one of many coating types available off-the-shelf. Usually based on a nickel matrix, the benefits of second-phase inclusions of phosphorus, boron, Teflon, diamond or silicon have been successfully exploited. In most cases, the presence of such particles improves wear-resistance and tribological behaviour. Similar benefits result when nano-composites are formed using PVD or PACVD. In this case, particles such as metal carbides can be included in a carbon matrix, chromium carbide or nitride in a chromium matrix as well as chromiumiobium nitride, aluminium/titanium nitride or titanium/hafnium carbide as two-phase structures can be used. Coating such as these are now used on valves in high-performance engines or to improve wear and temperature resistance of machining tools.