高分子マイクロ·ナノ成形技術の現状と今後の展開

摘要

マイクロからナノスケールの高精度を有するプラスチックは，最先端デバイスを支える基幹部材として非常に重要になっている。これらのプラスチックの超精密成形加工では，プラスチック材料特性や加工技術を良く理解して，この加工技術によって新たな「ものづくり」を展開することが必要不可欠である。ここでは，プラスチック成形加工によるマイクロスケールおよびナノスケールの転写成形の課題，歴史，さらにこれらの加工技術の研究動向と今後の展開について，最近の研究成果を中心に紹介する。