粒子積層プロセスの新しいトレンドと将来動向

摘要

CVD，PVD法を筆頭に，原子を積層単位とし厚さ数μm以下の高品質皮膜を創製する薄膜技術は，確立された信頼性，制御性の下に幅広い応用展開を図るなど，技術としての完成度が高い．一方，イオン注入など拡散を基本原理とする表面層改質技術もまた，基幹技術として寄せられる期待が大きい．一方，これら薄膜あるいは表面改質技術に射し，単位となる数十μmサイズの粒子群を積層させ，厚さ数μmを超える厚膜創製技術分野が存在する．