RF-MEMSデバイスにおける接合技術

摘要

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術を応 用したデバイスは，研究室レベルの試作から実際の製品 開発のフェーズに移行し始めている．最初にMEMSとし て市場的な成功を収めた製品はインクジェット用のプリ ンタヘッドであるが，ハードディスクやゲームコントロ ーラ向けの加速度センサ，DLP（Digital Light Processing）に代表される表示デバイス，バイオ分析向け のデバイス，携帯電話向けの超小型マイク，水晶発振 子に換わるSi共振器など多くの分野において，既存の 技術では実現できなかった小型高性能化を実現し，製品 の高付加価値化に寄与している．