机译:Prandtl微型流量传感器(PMFS):一种用于流速测量的新型硅膜电容传感器
机译:以铝n型多晶硅结为基础的热电堆的实验表征,该热电堆是硅芯片中实现的多向流量传感器的基础
机译:具有多孔硅热隔离的硅热气流传感器的特性
机译:Prandtl微型流量传感器(PMFS):用于流速测量的新型硅膜电容传感器
机译:用于测量pH的流体直通光学传感器的多孔硅技术的实现。
机译:使用基于高灵敏度多孔硅微腔的传感器进行实时和流内传感
机译:硅微加工传感器和传感器阵列,用于空气动力学流动中的剪切应力测量