机译:晶片箱图缺陷诊断的智能系统:半导体制造的经验研究
Department of Industrial Engineering & Engineering Management, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan;
Department of Industrial Engineering & Engineering Management, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan;
Wafer bin map (WBM); Semiconductor manufacturing; Yield enhancement; Spatial statistics test; Cellular neural network(CNN); ART 1 neural network;
机译:晶圆仓图的相似度匹配可提供制造智能,从而使Industry 3.5具有半导体制造能力
机译:在线检测和分类晶圆仓图缺陷图案以实现制造智能的系统
机译:半导体制造中缺陷晶圆仓贴图的相似性搜索
机译:晶圆制造厂集群中数据挖掘方法的开发及实证研究
机译:基于可制造性设计准则的系统缺陷的测试和诊断。
机译:以质量变化为中心的产品制造可靠性以智能制造系统的多层耦合操作特性为中心
机译:用于识别半导体制造中的晶片箱地图的群集集合