机译:在线检测和分类晶圆仓图缺陷图案以实现制造智能的系统
Department of Industrial Engineering & Engineering Management, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan;
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Hsinchu Science Park, Hsinchu, Taiwan;
Department of Industrial Engineering & Engineering Management, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan;
wafer bin map; data mining; adaptive resonance theory; manufacturing intelligence; statistical process control; yield enhancement; semiconductor manufacturing;
机译:基于DBSCAN的晶圆盒图缺陷模式检测与分类框架
机译:半监控多标签学习,用于晶圆箱地图的混合型缺陷模式
机译:晶圆仓图中混合型缺陷图案的检测和聚类
机译:晶圆箱地图中更好地诊断缺陷模式的神经网络方法
机译:图案化晶圆中暗场缺陷检测的电磁建模。
机译:使用自动纤维放置的FRP制造过程中的缺陷特征和在线检测技术:综述
机译:使用深卷积编码器解码器神经网络架构在半导体制造中的晶片缺陷模式的异常检测和分割
机译:VLsI模式缺陷检测与分类的模板集方法