Eiektronenstrahlmikroanalyse (ESMA) bei Durchriebprüfungen an funktioneilen Edelmetallschichten

摘要

Die ESMA ist notwendiger Bestandteil von Verschleiß- und Durchriebprüfungen in der modernen Kontaktwerkstoff- und Schichtentwicklung. Wegen des relativ hohen Preises von Mikrosondenunter-suchungen (etwa 200 M/h) sollten zunächst ebenfalls brauchbare, aber billigere Methoden, wie LichtmikroBkopie oder REM, bevorzugt werden, ehe in Zweifels- oder Sonderfällen Reibspursondierungen größeren Umfangs und der Nachweis des Durchriebs mit ESMA erfolgen. Sorgfältige Vorbereitung der Sonde, zweckmäßige Probenauswahl und Klarheit über die gewünschte Art der Ergebnisse sind Voraussetzungen für eine rationelle und zweifelsfreie Durchriebidentifizierung auch bei größeren Prüfumfängen.