机译:基于表面微机械加工过程的连续膜微镜残留应力补偿研究
residual stressmicromirror arraysoptical qualitystress compensation;
机译:基于位错的晶粒细化,残余应力和表面粗糙度的基于脱位密度的比较研究及表面机械磨损处理
机译:基于加固表面改性的SICP / 6061 Al复合材料残余应力弛豫机理研究
机译:基于两阶段参数法,抛光后抛光叶片表面残余应力研究
机译:膜中的残余应力对表面微加工氮化硅压力传感器性能的影响
机译:铝MEMS微镜的表面微加工制造工艺。
机译:基于水泡试验技术的残余应力薄膜/基体系统表面和界面力学性能同步表征的理论研究
机译:基于压力泡罩试验技术的残余应力薄膜/基体系统表面和界面力学特性同步表征的理论研究
机译:采用四层平面化微机械多晶硅工艺制造的下一代微镜的设计与表征