机译:用于等离子体增强的二维BN缓冲器,在石墨烯场效应晶体管上的Al 2 O 3栅极电介质的血浆增强原子层沉积
机译:通过等离子体增强原子层沉积沉积的具有ZrO_2栅介电层的并五苯薄膜晶体管
机译:结合等离子体增强原子层沉积栅极电介质和原位SiN覆盖层,可降低200mm Si衬底上AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管的阈值电压漂移和动态导通电阻色散
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的鲁棒SiO2栅极介电薄膜涉及脱甲丙基氨基硅烷(DIPA)和氧等离子体:在非晶氧化物薄膜晶体管上施用
机译:高k HfAlO栅极介电层的原子层沉积(ALD)功能增强了AlGaN / GaN金属氧化物半导体异质结场效应晶体管(MOSHFET)的性能
机译:对2D晶体等离子体增强原子层沉积高κ电介质的影响及生长
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:通过原子层沉积Al 2 O 3栅极电介质的原位氟掺杂,控制E模式和D模式硅基GaN硅金属绝缘体半导体异质结构场效应晶体管中的阈值电压