机译:使用微机械制造单晶硅光栅结构疏水性能研究
机译:硅微加工的一项新技术:用于实现低掺杂单晶硅结构的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻
机译:通过三光束激光干涉制备的具有疏水性的抗反射硅结构
机译:具有宽带抗反射和超疏水性的硅管状光栅的新制造方法
机译:用多孔硅采用新型表面微机械加工制造的压力传感器单晶Si膜
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:微加工法制备单晶硅方柱结构疏水性的研究
机译:硅微加工的新技术:用于实现低掺杂单晶硅结构的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻