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机译:使用有机前体四(乙基甲基氨基)钛(TEMAT)进行TiN的等离子体增强原子层沉积(PEALD)
机译:使用四乙基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl
机译:使用四(二甲基氨基)钛和H_2O前驱体通过原子层沉积来晶圆级制备共形原子层TiO_2
机译:四(二乙氨基)锆前体远程等离子体增强原子层沉积所沉积的ZrN薄膜的阻挡特性
机译:四(乙基甲基氨基)锡前驱体用于薄膜晶体管的原子层沉积法制备氧化锡膜
机译:使用四-二甲基酰胺基钛和水前体在硅和砷化镓衬底上沉积二氧化钛的原子层。
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集