A MONTE CARLO SIMULATION STUDY OF BORON IMPLANTS PROFILES INTO NiDoS-LPCVD THIN SOLID FILMS

M. BOUKEZZATA; S. MERABET

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A MONTE CARLO SIMULATION STUDY OF BORON IMPLANTS PROFILES INTO NiDoS-LPCVD THIN SOLID FILMS

机译：NiDoS-LPCVD薄固体薄膜中硼植入物轮廓的蒙特卡洛模拟研究

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来源
《The African Physical Review》 |2008年第2008期|共页
作者
M. BOUKEZZATA; S. MERABET;
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正文语种
中图分类物理学;
关键词

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1. A MONTE CARLO SIMULATION STUDY OF BORON IMPLANTS PROFILES INTO NiDoS-LPCVD THIN SOLID FILMS [J] . The African Review of Physics . 2008,第2008期

机译：NiDoS-LPCVD薄固体薄膜中硼植入物轮廓的蒙特卡洛模拟研究
2. A Monte Carlo simulation study of high-dose and low-energy boron implantation into LPCVD-NiDoS polycrystalline thin films [J] . Merabet S, Boukezzata M, Temple-Boyer P, Materials science in semiconductor processing . 2008,第3期

机译：LPCVD-NiDoS多晶薄膜中大剂量低能硼注入的蒙特卡洛模拟研究
3. Monte Carlo simulation of depth and lateral profiles of boron atoms implanted in polycrystalline silicon [J] . Journal of Applied Physics . 1977,第4期

机译：多晶硅中注入的硼原子深度和侧向轮廓的蒙特卡洛模拟
4. Monte Carlo simulation of boron doping profile of fin and trench structures by plasma immersion ion implantation [C] . Izat S. Shahsenov, Andrey V. Miakonkikh, Konstantin V. Rudenko International conference on micro- and nano-electronics . 2014

机译：等离子体浸没离子注入法模拟鳍片和沟槽结构的硼掺杂分布
5. Theoretical investigations of open-shell systems: 1. Spectral simulation of the 2s(2)p(2) (2)D <- 2s(2)2p (2)P(o) valence transition in the boron diargon cluster, and 2. Quantum Monte Carlo calculations of boron in solid molecular hydrogen. [D] . Krumrine, Jennifer Rebecca. 2000

机译：开壳系统的理论研究：1.硼二氩簇中2s（2）p（2）（2）D <-2s（2）2p（2）P（o）价化合的光谱模拟，以及2固体分子氢中硼的量子蒙特卡罗计算。
6. Transition from silicene monolayer to thin Si films on Ag(111): comparison between experimental data and Monte Carlo simulation [O] . Alberto Curcella, Romain Bernard, Yves Borensztein, 2018

机译：在Ag（111）上从硅单层过渡到Si薄膜：实验数据和Monte Carlo模拟之间的比较
7. Symmetric Diblock Copolymers in Thin Films (II): Comparison of Profiles between Self-Consistent Field Calculations and Monte Carlo Simulations [O] . Geisinger, Thorsten, Mueller, Marcus, Binder, Kurt 1999

机译：薄膜中的对称二嵌段共聚物（II）：型材的比较自洽场计算与蒙特卡罗模拟之间的关系

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