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Synthesis and characterization of sol-gel derived CeO2 dielectric thin films for CMOS devices

机译：溶胶凝胶衍生的CeO2 CMOS介电薄膜的合成与表征

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《Optoelectronics and Advanced Materials-Rapid Communications》 |2008年第2008期|共页
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中图分类电工技术;
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