Caracterizaci?3n estructural y estabilidad de las fases para pel?-culas de ti6al4v depositadas por medio de pulverizaci?3n cat?3dica magnetr?3n rf sobre acero inoxidable

摘要

El acero inoxidable UNS S31600 fue recubierto con pel?-culas de la aleaci?3n Ti6Al4V, por medio de la t??cnica de pulverizaci?3n cat?3dica magnetr?3n rf. La superficie de los materiales obtenidos se someti?3 a una caracterizaci?3n estructural por difracci?3n de rayos X y a an??lisis qu?-mico por espectrometr?-a de energ?-a dispersiva de rayos X. Se estudi?3 el efecto de las variaciones de la presi?3n del gas en la c??mara de crecimiento y de la potencia aplicada al blanco sobre la estabilidad de las fases y el tama?±o de cristal. Se obtuvieron pel?-culas nanoestructuradas, constituidas de la fase Ti-c?obica de cuerpo centrado altamente texturadas. La textura y la composici?3n qu?-mica de las pel?-culas sufrieron poca alteraci?3n al variar los par??metros del proceso de recubrimiento, mientras que el tama?±o de cristal mostr?3 ser bastante susceptible a las variaciones en dichos par??metros. Utilizando an??lisis de Scherrer se estim?3 que el tama?±o promedio de cristal oscil?3 entre 10 y 30 nm. El uso de potencias menores y de presiones mayores en los experimentos llev?3 a la formaci?3n de cristales m??s finos. El art?-culo discute los fundamentos f?-sicos que controlan la formaci?3n de las fases observadas y su tama?±o de cristal.