机译:单片多自由度(MDoF)电容MEMS加速度计
机译:基于Arduino和MEMS加速度计的多自由度系统的机械振动分析
机译:具有可编程增益嵌入式ADC的SC接口,用于单片三轴3D堆叠式电容MEMS加速度计
机译:在晶圆级0.18μmCMOS MEMS工艺中实现单片电容式加速度计
机译:单片9自由度(DOF)电容惯性MEMS平台
机译:有源多自由度加速度计的分析和设计。
机译:单片多自由度(MDoF)电容MEMS加速度计
机译:使用三自由度MEMS加速度计的INS系统的实现和评估