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机译:使用软光掩模在亚微米级进行接触光刻
soft photomaskcontact photolithographyblack photoresistultraviolet patterningsub-micrometer scale;
机译:用于亚微米级大面积接触光刻的软PDMS /金属膜光刻胶及其在图案化蓝宝石衬底上的应用
机译:使用金属涂层的弹性光掩膜在倾斜侧壁上调制光强度的厘米级亚波长光刻。
机译:使用微流体光掩模的灰度光刻。
机译:金属接触印刷光刻技术,用于制造发光二极管中的亚微米级图案蓝宝石衬底
机译:纳米和生物系统中的软材料的小规模接触和粘附。
机译:使用软光掩模在亚微米级进行接触光刻
机译:使用微流控光掩模的灰度光刻