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机译:停止流光刻技术,利用可调节的三维掩模连续制造微透镜结构
机译:微流控设备中通往三维结构的途径:停止流干涉光刻
机译:通过静电力调制可动态调节的三维灰色掩模,用于制造微通道中的微透镜阵列
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机译:利用掩模3D形貌改善22nm节点ArF光刻性能:可控侧壁角 r n利用掩模3D形貌改善22nm节点ArF光刻性能:可控侧壁角
机译:微透镜阵列光刻以及具有软光刻和自组装的三维制造。
机译:基于图案化集成软光刻工艺的微透镜阵列的仿昆虫成像系统
机译:停流光刻技术利用可调节的三维掩模连续制造微透镜结构
机译:使用光学光刻和相移掩模制造的红外频率选择表面