基于数字掩模光刻技术的微透镜阵列的制作方法

摘要

一种基于数字掩模光刻技术的微透镜阵列的制作方法，其方法步骤为：将阵列中的单个透镜的高度等分为n个小微元，利用勾股定理计算出每一等分台阶对应平面圆的直径，将其进行四舍五入的取整处理，使其是DMD单个像素的整数倍。利用成像优化技术设计得到曝光图形，曝光、显影后得到微透镜阵列的浮雕结构。本发明的技术效果是：1、从设计上减小了传统方法给制作器件带来的误差，使微透镜具有更精确的表面轮廓结构，极大改善了微透镜阵列光学使用性能；2、融合数字实时、分形及旋转等成像优化技术，提高了对准精度，并减少了掩膜的数据量，节省大量的存储空间；3、可以保留更多透镜的微细结构，从而在制作方面受透镜表面形状限制更小。