机译:气体喷嘴对甲硅烷西门子反应器沉积多晶硅的影响
机译:气体喷嘴对甲硅烷西门子反应器沉积多晶硅的影响
机译:西门子反应堆中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
机译:棒径对甲硅烷西门子多晶硅反应器中流型和温度分布的影响
机译:通过调整多晶硅棒的温度曲线来提高西门子反应堆的产量
机译:扩展气体喷嘴和搅拌良好的反应器中的纳米簇成核。
机译:喷嘴操作对射流充气环流反应器中传质的影响。充气搅拌釜反应器的表征与比较
机译:西门子多晶硅CVD反应器的设计与过程控制
机译:在先进的西门子反应堆中开发基于二氯硅烷化学气相沉积的多晶硅工艺