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GAP MICRO-LITHOGRAPHY FOR CHALCOGENIDE MICRO-LENS ARRAY FABRICATION

机译:硫族缩微透镜阵列制造的间隙微光刻技术

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摘要

A newly developed technique, gap micro-lithography, used for the formation of I.R. micro-optical devices such as micro-lens arrays with a very long focal length, is described. The use of a three-component As-S-Se photoresist with a new efficient amine-based selective developer allows for the realization of soft contrast characteristics of the micro-lithographic process with a Xe-light source. Parameters and characteristics of micro-optical devices made using the gap micro-lithography method are discussed
机译:一种新开发的技术,间隙微光刻技术,用于形成I.R.描述了具有非常长的焦距的微光学装置,例如微透镜阵列。将三组分As-S-Se光致抗蚀剂与新型高效的基于胺的选择性显影剂结合使用,可以实现使用Xe光源进行微光刻工艺的柔和对比度特性。讨论了利用间隙微光刻法制造的微光学器件的参数和特性。

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