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机译:使用腔室清洁操作计划双臂群集工具
Korea Adv Inst Sci & Technol, Dept Ind & Syst Engn, Daejon 305701, South Korea;
Korea Adv Inst Sci & Technol, Dept Ind & Syst Engn, Daejon 305701, South Korea;
Automation; cleaning; cluster tool; Petri net; preventive maintenance; scheduling; semiconductor manufacturing;
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