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机译:晶体硅在远端低频感应耦合等离子体中沉积的本征a-Si:H膜对硅的表面钝化
Hebei Univ, Coll Phys Sci & Technol, Baoding 071002, Peoples R China|Nanyang Technol Univ, Plasma Sources & Applicat Ctr, NIE, Singapore 637616, Singapore;
Nanyang Technol Univ, Plasma Sources & Applicat Ctr, NIE, Singapore 637616, Singapore|ASTAR, Inst Mat Res & Engn, 2 Fusionopolis Way,08-03, Singapore 138634, Singapore;
Nanyang Technol Univ, Plasma Sources & Applicat Ctr, NIE, Singapore 637616, Singapore;
Remote ICP; Passivation; Solar cells;
机译:通过固有的A-Si:H沉积在远程低频电感耦合等离子体中的晶体硅的表面钝化
机译:低频感应耦合等离子体沉积的本征硅薄膜对晶体硅表面的钝化
机译:N_2O / SiH_4流量比对电感耦合等离子体化学气相沉积法制备非晶硅氧化物薄膜的影响及其在硅表面钝化中的应用
机译:氩和氦等离子体通过远程等离子体化学气相沉积法沉积的本征a-Si:H薄膜的微观结构和表面钝化质量的比较
机译:等离子体沉积非晶硅薄膜的表面反应性,粗糙度和结晶度的原子分析。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:中频磁控溅射沉积SiON:H薄膜对硅表面的钝化