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机译:6H-SiC(0001)-根3 x根3R30度表面氧氮化的高分辨率光电子能谱研究
Hiroshima Univ, Hiroshima Ctr Synchrotron Radiat, Higashihiroshima 7398526, Japan;
6H-SiC; oxynitridation; oxidation; photoemission spectroscopy; NITRIDATION; OXIDATION; 4H-SIC(0001);
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