机译:电子束蒸发制备HfO_2薄膜的研究
Ion Beam Laboratory, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 865 Changning Road, Shanghai 200050, PR China;
HfO_2 thin film; electron beam evaporation; anti-reflection coating;
机译:使用近空间升华(CSS)和电子束蒸发(EBE)薄膜制造技术制备的ZnTe薄膜的光电应用比较研究
机译:离子束辅助电子束蒸发制备氧化铈薄膜的结构,微观结构和光学性质
机译:通过直接电子束蒸发制备的HfO_2 / Si(100)界面内的化学态在退火时的演变
机译:离子辅助电子束蒸发制备气敏应用TiO_2基混合氧化物薄膜材料的研究
机译:电子束蒸发生长的氧化铝薄膜的沉积和表征。
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