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机译:低温,高生长速率的外延硅和锗硅合金薄膜
Epitaxy; Chemical vapor deposition (cvd); Silicon germanium; Si1-xgex;
机译:使用GeF4在Si(001)上超低温外延生长硅锗薄膜
机译:通过反应热化学气相沉积法在Si(001)衬底上外延生长富锗硅锗薄膜
机译:通过超高真空化学气相沉积直接在硅衬底上外延生长的富锗硅锗薄膜
机译:硅的低温外延生长实现了晶体硅和锗衬底上的高效异质结太阳能电池
机译:低温掺杂和未掺杂外延硅以及硅(1-x)锗(x)的生长。
机译:低温阳极氧化硅薄膜的生长和腐蚀速率研究
机译:低温等离子体合成纳米晶体及其在结晶硅和锗薄膜生长中的应用