机译:结合原位HCl HCl蚀刻和原位掺杂外延SiGe重生长的超浅结的新技术
Si etch back; Chemical vapour etch; Ultra-shallow-junctions; Cvd; Seg; Sige;
机译:通过原位外延HCL蚀刻在Si(001)上SiGe薄膜的应变稳定
机译:通过在Mg蒸气中化学气相沉积生长的B膜的非原位退火制得的清洁外延MgB2膜
机译:通过原位掺杂选择性Cvd外延生长形成具有嵌入Sige源极/漏极的高Ge组分本征Sige-异质沟道Mosfets
机译:原位HCl蚀刻和选择性外延生长硼掺杂GE形成凹陷和凸起的源和排水管
机译:一种新颖的原位技术,用于制造具有受控横向厚度调制的薄膜。
机译:卤化物激光化学气相沉积法在110取向块状3C-SiC中原位掺杂氮
机译:采用原位掺杂技术制备的具有硅铝酸盐内包层的偏振保持掺镱光纤
机译:可扩展下一代外延的实验室仪器设计研究:通过智能控制的非平衡宽应用外延图案化(NEW-EpIC)。第1卷。通过micromiror图案化深紫外光解吸附进行3D成分/掺杂控制:革命性的原位表征/控制