机译:精密蚀刻熔融石英,用于微光学应用
Leibniz Inst Oberfachenmodifizierung eV, D-04318 Leipzig, Germany;
excimer laser; laser etching; fused silica; solid-liquid interface; UV-TRANSPARENT MATERIALS; EXCIMER-LASER; ORGANIC SOLUTION; ABLATION; FABRICATION; PULSES;
机译:熔融石英的精确蚀刻,用于折射和衍射微光学应用
机译:使用C4F8 / Ar电感耦合等离子体的熔融石英玻璃蚀刻研究,用于穿通玻璃(TGV)应用
机译:超深熔融石英玻璃蚀刻,具有耐HF光敏抗蚀剂,适用于光学成像应用
机译:干法蚀刻制造熔融石英微光学元件的潜力
机译:中孔二氧化硅的应用:利用精确的纳米级结构的机械和光学性能。
机译:通过双脉冲制造改善熔融石英中的蚀刻各向异性
机译:干法蚀刻制造熔融石英微光学元件的潜力
机译:HF / NH4F蚀刻对熔融石英表面裂纹形貌的影响。非结晶固体杂志