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机译:原子层沉积的单材料TiO_2薄膜在p型c-Si上的减反射和表面钝化应用
Natl Chiao Tung Univ, Inst Photon Syst, Tainan 71150, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Inst Photon Syst, Tainan 71150, Taiwan;
Southern Taiwan Univ Sci & Technol, Dept Electroopt Engn, Tainan 710, Taiwan;
Natl Dong Hwa Univ, Dept Mat Sci & Engn, Hualien 97401, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Inst Photon Syst, Tainan 71150, Taiwan;
Titanium oxide; Atomic layer deposition; Antireflection coating; Surface passivation;
机译:等离子体增强原子层沉积法生长有机发光二极管钝化Al_2O_3 / TiO_2多层薄膜
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机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
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