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Study on the Passivation of Si Surface by Incorporation of Nitrogen in Al2O3Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

机译：用原子层沉积生长的Al2O3膜掺入氮气掺入Si表面的钝化研究

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Hee Kyeung Hong; Jaeyeong Heo;
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年度 2015
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