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机译:在SF_6超快激光蚀刻中通过光学衍射制造有序硅锥阵列
Laboratoire de photophysique moleculaire, Bat 210 Universite Paris Sud, 91405 Orsay Cedex, France;
surface phenomena: alignment, anchoring, anchoring transitions, surface-induced layering, surface-induced ordering, wetting, prewetting transitions, and wetting transitions; Semiconductors; physical radiation effects, radiation damage (for photochemical;
机译:硅纳米结构阵列的激光干涉光刻和金属辅助化学刻蚀的制备和光学表征
机译:通过电化学蚀刻制造精确控制的硅线和锥阵列
机译:飞秒激光辅助刻蚀工艺制造衍射微透镜阵列
机译:用于制造折射和衍射光学元件的激光辅助沉积和蚀刻
机译:使用纳米球面光刻和RIE刻蚀制造二维纳米结构阵列及其在光学器件中的应用。
机译:金属辅助化学蚀刻的无光刻技术制造硅纳米线和纳米孔阵列
机译:化学银催化刻蚀硅纳米线阵列的制备及光学性能