阵列波导衍射光栅型光合波分波电路的光学芯片、波导基板以及阵列波导衍射光栅型光合波分波电路的光学芯片的制造方法

摘要

本发明提供一种阵列波导衍射光栅型光合波分波电路的光学芯片、波导基板以及阵列波导衍射光栅型光合波分波电路的光学芯片的制造方法。本发明的光学芯片设为中央部向一侧膨胀的凸型形状。另外，设为将阵列波导的弯曲方向相逆的阵列波导衍射光栅型光合波分波电路组合而配置的布局的波导基板，设为从该波导基板切出光学芯片。本发明的光学芯片的制造方法可以提高光学芯片收容率，可以制造阵列波导衍射光栅型光合波分波电路的光学特性稳定的形状的光学芯片。